재료工學 기초test(실험) - 면저항 측정(measurement) test(실험)
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작성일 22-10-30 06:09
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2. 理論(이론)
면저항은 얇은 박막의 저항을 측정(測定) 하는 것인데 박막이라 하는 것은 두께가 0.1μm - 수μm의 두께를 가지는 막을 박막이라 한다.
Rs = ( π / ln2 )( VCD / IAB ) 이렇게 된다
② 4-Point probe method
일반적으로 가장 많이 쓰이는 방법으로 4-Point Probe, 4 Probe head, 4PP, FPP, 4탐침 등으로 불리…(To be continued )
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순서
다. R =ρ(길이/단면적)이다. 저항을 계산하는데 저항율보다 훨씬 쉽고 유용하게 사용된다
옴의 법칙에서 V = IR 이다. 여기서 A - B로 흐르는 전류를 IAB라 하고 C - D에서 측정(測定) 되는 전압차를 VCD라 두고 위의 계산식을 定義(정이)해 보자.
이것의 계산 식은 다음과 같다. 이것을 다음과 같은 定義(정이)에 의해 다시 정리(arrangement)해 보자. 먼저 얇은 박막의 두께를 T라 하고 폭은 W, 박막의 길이를 L이라 할 때 거기에 흐르는 전류를 I라 한다 하고 위의 저항(R)의 식에 대입해 보면 다음과 같게 된다
그것의 저항 R = ( ρ / T )( L / W )인데 여기서 ( ρ / T )를 면저항 Rs라고 한다.
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실험과제/재료
면저항 측정(測定) 實驗
1. 實驗목적 : 면저항의 定義(정이) 을 알고, 직접 면저항을 측정(測定) 해봄으로써 면저항을 측정(測定) 하는 이유와 면저항을 줄일 수 있는 방법을 연구한다. 거기에서 A -B는 전류를 흐르게 했을때 C - D로 흐르는 전압의 차를 측정(測定) 해서 면저항을 측정(測定) 하는 것이다. 여기서, ρ는 비저항인데 그러므로 면 저항은 얇은 박막의 두께에 대한 비저항을 가르키는 것이다.
① Van der Pauw`s method
위의 모양과 같은 얇은 박막의 4군데의 다른 접점을 표시해 놓는다. 두이 때 전체 길이를 폭으로 나눈 값을 면 개수(Sheet number)라고 한다. 그러므로 다시 말하면 전체 저항은 면저항과 Sheet number만 알면 쉽게 계산할 수 있게 된다
다음으로 면저항을 측정(測定) 하는 두 가지 방법을 紹介(소개)하도록 하겠다.
